Model
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DZ1214
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DZ1416
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DZ1618
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DZ1818
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DZ2118
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||||
Chamber dimension(mm)
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D1200
H1400
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D1400
H1600
|
D1600
H1800
|
D1800
H1800
|
D2100
H1800
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||||
Ultimate vacuum(Pa)
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<8x10
-4
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||||
Empty furnace pumping to 2x10
-2
pa(min)
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<5
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||||
Targets
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10
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14
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21
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28
|
32
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||||
Total Power(kW)
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50
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60
|
80
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110
|
120
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